国内 全职 107 材料物理与化学
意向城市:长三角、珠三角
性别:男
年龄:29
毕业时间:2021.01
毕业院校:上海科技大学
专业:材料物理与化学
研究方向:物理气相沉积技术(PVD)及金属催化非晶碳转变石墨烯
论文:SCI5篇、EI2篇、会议论文2篇
专利:3项
教育经历:
2015.09-2021.01 上海科技大学 材料物理与化学 博士
2011.09-2015.06 武汉工程大学 材料化学 本科
工作经历:
1.【维持 NO-Stack 工艺的稳定性】
负责 3D NAND 中 Nitride 及 Oxide 堆叠工艺,以及 PECVD Strata 机台的验机、调试和技术支持工作,确保了机台的正常运作和量产,支撑了客户的产能扩张(FAB1 to FAB2)。
2.【解决 Hardmask 工艺难点】
负责 Amorphous Hardmask(AHM)的沉积工艺技术研发以及技术支持工作,支撑客户的 FAB1 和 FAB2 厂的 PECVD AHM 机台的验机、调试和技术工作,确保了机台的正常运作。
3.【实现机台 uptime 从 40%-85%的提升】
针对 AHM 的 Arcing 和 Cluster 进行了大量数据统计分析,并给出数据分 析反馈,找到 Arcing 的主要原因,提出了实际可行的解决方案,解决了客户巨大的产能压力。
4.【提高工作能效和产能】
针对客户的产能压力和技术支持问题,对外包团队进行合理的工作分配及轮班安排,实现了24h 为客户解决技术支持问题。在解决产能问题上攻坚克难,提高了整体效率。
5.【负责 Backside 工艺】
负责 Backside nitride 工艺的稳定性,PECVD VECTOR DT-DTE 机台的验机、调试以及技术支持和培训工作,确保了机台的正常交付和运作。
补充说明: 理解且掌握 PVD 技术的原理及工艺,利用电弧沉积和磁控溅射技术(PVD)制备了非晶碳,研究了采用金属 Ni 作为催化剂时,非晶碳的转化效果以及非晶态与晶态的调控效果,阐释了石墨烯的形成机理,并指出了大面积制备石墨烯的关键因素。
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