国内 全职 107 材料物理与化学

意向城市:长三角、珠三角

性别:男

年龄:29

毕业时间:2021.01

毕业院校:上海科技大学

专业:材料物理与化学

研究方向:物理气相沉积技术(PVD)及金属催化非晶碳转变石墨烯

论文:SCI5篇、EI2篇、会议论文2篇

专利:3项

教育经历:

2015.09-2021.01 上海科技大学 材料物理与化学 博士

2011.09-2015.06 武汉工程大学 材料化学 本科

工作经历:

1.【维持 NO-Stack 工艺的稳定性】

负责 3D NAND 中 Nitride 及 Oxide 堆叠工艺,以及 PECVD Strata 机台的验机、调试和技术支持工作,确保了机台的正常运作和量产,支撑了客户的产能扩张(FAB1 to FAB2)。

2.【解决 Hardmask 工艺难点】

负责 Amorphous Hardmask(AHM)的沉积工艺技术研发以及技术支持工作,支撑客户的 FAB1 和 FAB2 厂的 PECVD AHM 机台的验机、调试和技术工作,确保了机台的正常运作。

3.【实现机台 uptime 从 40%-85%的提升】

针对 AHM 的 Arcing 和 Cluster 进行了大量数据统计分析,并给出数据分 析反馈,找到 Arcing 的主要原因,提出了实际可行的解决方案,解决了客户巨大的产能压力。

4.【提高工作能效和产能】

针对客户的产能压力和技术支持问题,对外包团队进行合理的工作分配及轮班安排,实现了24h 为客户解决技术支持问题。在解决产能问题上攻坚克难,提高了整体效率。

5.【负责 Backside 工艺】

负责 Backside nitride 工艺的稳定性,PECVD VECTOR DT-DTE 机台的验机、调试以及技术支持和培训工作,确保了机台的正常交付和运作。

补充说明: 理解且掌握 PVD 技术的原理及工艺,利用电弧沉积和磁控溅射技术(PVD)制备了非晶碳,研究了采用金属 Ni 作为催化剂时,非晶碳的转化效果以及非晶态与晶态的调控效果,阐释了石墨烯的形成机理,并指出了大面积制备石墨烯的关键因素。